5 月 28 日消息,推出佳能中國官方宣布,光設將在 2024 年 6 月上旬發售支持使用第 6 代玻璃基板的推出濟南外圍(外圍女)外圍上門(電話微信180-4582-8235)提供高端外圍上門真實靠譜快速安排不收定金見人滿意付30分鐘內到達 FPD 曝光設備新品 MPAsp-E1003H。![]() ▲ MPAsp-E1003H FPD 即平板顯示器(Flat panel display),光設大家常見的推出產品一般可分為 LCD、OLED、光設LED、推出PDP、光設ELD、推出FED、光設投影顯示等不同類型。推出 ![]() ▲ 車載大型特殊顯示器(示意圖) 佳能表示,光設這款產品采用了投影光學系統,推出濟南外圍(外圍女)外圍上門(電話微信180-4582-8235)提供高端外圍上門真實靠譜快速安排不收定金見人滿意付30分鐘內到達可實現 1.5μm(L/S)的光設高分辨率,且一次曝光幅度擴大約 1.2 倍,推出使生產能力將進一步提升。 據介紹,該投影光學系統曾用于“MPAsp-H1003H”,可用于生產使用第 8 代玻璃基板一次性曝光、用于大型電視等的 65 英寸面板。 在一塊玻璃基板上,如果生產智能手機面板等產品,此前需要 6shot 曝光,而新產品僅需 4shot 曝光,生產性能大幅提升。此外,在生產車載橫向大型特殊顯示器時,也可以做到無接縫 2shot 曝光。且,玻璃基板搭載臺的驅動速度提升約 60%,tact time 提升約 14%,有效提升了量產效率。 ![]() 佳能表示,新產品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一樣的每塊面板多點同時測量的對位方式(既保證了生產效率也實現了高精度曝光),還搭載了新開發的非線性補正 REI(Real-Time Equalizing distorted Image)模塊,從而使其即使曝光幅度擴大也能實現 ±0.30μm 高套刻精度。 此外,新產品沿用了曾經搭載在“MPAsp-H1003H”上實現了超分辨率技術的照明模式切換機構,可根據需要曝光圖案的種類進行照明模式切換,從而適配各類制造工序的曝光。 這款新產品在形成圓弧光的機構中,配備曝光狹縫自動調整機構(SIC:Slit Illuminance Control)。通過自動控制光線通過的狹縫寬度,可以改變曝光光線的強度分布,從而實現穩定的曝光線寬。 ![]() 同時,新產品還采用了可配合曝光布局自由選擇玻璃基板縱橫方向的 universe chuck,首次實現可應對車載顯示器多樣化布局需求。佳能表示,MPAsp-E1003H 通過強化上述制造工序的工藝應對能力,制造質量更加穩定。 |




